10月27日，2021年中國MEMS制造大會（China MEMS）在蘇州舉行，這是目前中國MEMS行業最具影響力的大會，由中國唯一的MEMS行業組織——中國半導體行業協會MEMS分會聯合微納制造中試平臺、中科院納米所等舉行，今年已經是第三屆。

　　會上，舉行了“2020年中國半導體MEMS十強企業”頒獎儀式，宣布了上一年度國內優秀的MEMS企業十強名單，該名單是目前國內最權威的MEMS企業名錄，代表現在中國MEMS領域實力最強的10家頭部企業。

　　歌爾微電子成立于2001年6月，2008年5月在深交所上市，主要聚焦MEMS麥克風及模組、智能傳感器及模組、SiP封裝等相關業務，專注于MEMS相關產品的自主研發設計與制造，其產品已廣泛應用于智能手機、無線耳機、智能穿戴、智能家居、無人機及汽車電子等領域。

　　《中國傳感器發展藍皮書》首批36家具有影響力的傳感器企業之一，中國微型麥克風代表性企業，在微型麥克風領域，市場占有率居世界同行業之首。據Yole Development 《202年MEMS產業現狀報告》顯示，歌爾在2020年全球MEMS廠商營收排名中升至第六位，繼去年首次躋身前十后，僅用一年時間排名升至第六，也是前十名中唯一一家中國企業，報告還指出，在MEMS麥克風方面，歌爾15年來首次超過樓氏電子成為行業第一。

　　上市企業，上半年市值約1351億元，2021上半年營收302.88億元，同比增長94.49%；上半年凈利潤17.31億元，同比增長121.71%

　　瑞聲科技控股有限公司為智能設備提供領先的微型專有技術解決方案，在聲學、光學、觸覺反饋、精密制造、微機電、無線射頻和天線領域擁有材料研發、仿真、算法、設計、自動化以及工藝開發等尖端技術。

　　集團在設計和大批量高精密制造方面有近三十年經驗，《中國傳感器發展藍皮書》首批36家具有影響力的傳感器企業之一，中國電聲元器件代表性企業，全球著名的電聲元器件制造商之一，2005年在香港上市。在微型聲學、觸覺、MEMS麥克風領域，分別被工信部認定為我國制造業單項冠軍示范企業?，F已成為全球領先的同行、IT及消費電子市場微型元器件整體方案供貨商。

　　港股上市企業，上半年市值約316.94億元，2021上半年營收86億港元，同比增長9.90%；上半年凈利潤9.21萬港元，同比增長187.40%

　　華潤微電子是2002年華潤集團收購華晶集團改組而成，是領先的半導體和智能傳感器供應商，總部位于無錫，擁有3條6英寸線，其中MEMS產線是國內規模最大的與CMOS生產線兼容的MEMS傳感器量產生產線，具有國內領先水平的 MEMS 表面和體硅加工技術，用于制造壓力、硅麥克風、光電、溫濕度等MEMS傳感器。

　　華潤微電子8吋MEMS的3000片/月產能擴充已經完成，并投入使用。光電及MEMS麥克風工藝平臺從6英寸升級到8英寸，實現批量生產，產品性能及良率水平優秀；整體提升了其MEMS工藝技術水平和競爭能力。

　　上市企業，上半年市值約908.9億元，2021上半年營收44.55億元，同比增長45.44%；上半年凈利潤10.68億元，同比增長164.86%

　　蘇州敏芯微電子技術股份有限公司成立于2007年9月，是一家專業從事微電子機械系統傳感器研發設計的高新技術企業，公司總部在蘇州工業園區，并在蘇州工業園區、昆山設有傳感器產品制造工廠。

　　目前，憑借自主知識產權的芯片設計，并與國際知名Fab廠和封裝廠合作，完成了公司產品的研發與產業化，并帶動了MEMS上下游產業鏈的發展。公司三大產品線分別為MEMS麥克風、MEMS壓力傳感器和MEMS慣性傳感器，應用場景涵蓋了消費電子、醫療、工業控制以及汽車電子等領域。

　　《中國傳感器發展藍皮書》首批36家具有影響力的傳感器企業之一，EET電子工程專輯（中國）2021年中國傳感器公司TOP10之一。敏芯作為中國最早成立的MEMS研發公司之一，現已擁有完整的芯片設計、晶圓制造、封裝與測試等全產業鏈的自主研發設計能力，憑借完全自主設計的MEMS芯片與ASIC芯片成功打破了國外廠商長期壟斷的格局，為MEMS全產業鏈的國產化探索了一條完整的道路。

　　上市企業，上半年市值約51.55億元，2021上半年營收1.87億元，同比增長40.17%；凈利潤1021.77萬元，同比增長-40.05%

　　中國電子科技集團第十三研究所全資子公司，中國MEMS行業協會理事長單位，專門致力于MEMS（微電子機械系統）器件與系統的研發、生產和銷售。連續多年榮獲“中國半導體MEMS十強企業”，是國內最大的MEMS核心芯片、器件和系統產品供應商，中國MEMS技術領導者。

　　《中國傳感器發展藍皮書》首批36家具有影響力的傳感器企業之一，中國MEMS傳感器代表性企業，EET電子工程專輯（中國）2021年中國傳感器公司TOP10之一。優勢產品包括MEMS慣性器件與系統、MEMS傳感器、汽車傳感器、壓力傳感器、射頻（RF）MEMS器件等，產品廣泛應用于航空航天、高鐵、汽車、自動駕駛、通信、地震監測、物聯網、智慧城市、智能家電等領域。

　　2015年中電十三所的“6英寸SOI MEMS標準加工技術及在高性能MEMS 器件中的應用”通過科技部組織的專家驗收，用于MEMS陀螺儀、加速度計、振動傳感器、碰撞傳感器、MEMS光開關、VOA及壓力傳感器等高性能MEMS器件的批量加工，美泰科技6英寸產線 美新半導體（天津）有限公司

　　美新半導體（MEMSIC）是全球領先的慣性MEMS傳感器及解決方案提供商，于1999年成立， 目前總部位于中國天津，在美國圣何塞和中國無錫、上海、深圳、臺北設有研發機構，在中國無錫、上海擁有制造和封測工廠，銷售及技術支持網絡遍及亞太，北美，歐洲，非洲和中東等地區。

　　《中國傳感器發展藍皮書》首批36家具有影響力的傳感器企業之一，中國慣性傳感器代表性企業，EET電子工程專輯（中國）2021年中國傳感器公司TOP10之一，原創開發了基于標準CMOS流程的微機電系統和全球領先的制造工藝和測試技術，成功研發出30多種型號的加速度傳感器、磁傳感器等產品。

　　2007年在NASDAQ上市，是全球第一家MEMS上市公司。2020年，美新獲得mCube獨家授權其所有慣性傳感器芯片技術，全面布局電容式加速度計和陀螺儀領域。最近完成10億人民幣A輪融資，國內最大的MEMS慣性傳感器公司，擁有特色工藝MEMS生產線 蘇州納芯微電子股份有限公司

　　蘇州納芯微電子是高性能高可靠性模擬芯片的研發設計企業。公司自2013年成立以來，專注于圍繞各個應用場景進行產品開發，由傳感器信號調理ASIC芯片出發，向前后端拓展了集成式傳感器芯片、隔離與接口芯片、驅動與采樣芯片，形成了信號感知、系統互聯與功率驅動的產品布局。

　　在混合信號處理、高耐壓數字隔離、集成式傳感器設計等領域擁有獨立知識產權和豐富技術儲備，產品已作為新能源汽車、工業自動化等應用的關鍵芯片，成功進入多個行業一線客戶的供應體系并實現大規模量產。同時公司持續加大各應用場景的產品研發，產品被廣泛應用于國內知名品牌客戶，涵蓋信息通訊、工業控制、汽車電子和消費電子等領域。

　　上海硅?？萍加邢薰境闪⒂?012年9月，專注于MEMS智能傳感器業務，設計和生產優質傳感器產品，并為客戶提供相應的智能應用方案和服務。

　　硅?？萍紦碛型耆灾髦R產權，申請并成功授權70余項國際國內發明專利，專利組合覆蓋MEMS工藝制程、傳感器設計和ASIC設計、算法和系統應用軟件等?！吨袊鴤鞲衅靼l展藍皮書》首批36家具有影響力的傳感器企業之一，專業從事高端MEMS傳感器和執行器、微系統等技術與產品的開發、生產及銷售。

　　西人馬聯合測控成立于2017年，總部坐落于福建，北方總部坐落于北京開云電競官方、南方總部坐落于深圳，歐洲總部坐落于法國巴黎。西人馬聯合測控總人數近1000人，其中科研人員約600人，擁有超過500項專利，并以每年30%以上的速度遞增。

　　EET電子工程專輯（中國）2021年中國傳感器公司TOP10之一，采用IDM模式，專注于傳感器芯片及相關調理芯片的研發、設計、制造和封測。

　　作為一家IDM芯片供應商，西人馬擁有先進的MEMS\ASIC\SoC以及非硅基芯片的設計開云電競官方網站、制造、封測能力，基于這些先進的核心技術，西人馬既可以單獨給客戶提供高品質的芯片產品，也可以提供相應的模組和解決方案，利用西人馬先進的傳感器、邊緣計算產品和相應的開發套件幫助客戶快速地搭建起具有監測與控制功能的A-IoT系統。

　　華虹由原上海華虹NEC電子有限公司和上海宏力半導體制造有限公司合并而成，自建設中國第一條8英寸（200mm）集成電路生產線起步，華虹宏力在上海金橋和張江共有三座8英寸晶圓廠（華虹一廠、二廠及三廠），月產能約18萬片。

　　在8英寸制造平臺上，華虹實現MEMS器件與標準CMOS工藝及生產線的全兼容。已流片的產品包括磁力計、加速度計、壓力傳感器等。

　　睿創微納總部位于山東煙臺，是從事專用集成電路、紅外熱像芯片及MEMS傳感器設計與制造的企業。

　　2020年7月，與煙臺開發區簽署協議，建設一條8英寸MEMS工藝線和一條化合物半導體工藝線。其中，化合物半導體芯片工藝線面向半導體激光器、光電探測器、微波器件以及功率器件；MEMS工藝線面向高端光學MEMS器件、RF MEMS器件和慣性MEMS傳感器等。8、罕王微電子（IDM&代工）

　　罕王微電子是一家以MEMS傳感器設計及制造生產為核心的高科技中美合資企業，總部位于遼寧省沉撫新區，系罕王集團控股子公司。

　　罕王微電子2016年收購美信旗下MEMS傳感器業務，2018年建成國內首條8英寸純MEMS規?；慨a線，工藝能力涵蓋MEMS芯片生產全流程，設計晶圓產能36萬片/年。生產傳感器包括：陀螺儀、IMU慣性測量單元、射頻RF-MEMS及加速度、溫度、濕度、壓力、應力傳感器等。

　　9、河北美泰（IDM）中國電子科技集團第十三研究所全資子公司，2015年中電十三所的“6英寸SOI MEMS標準加工技術及在高性能MEMS 器件中的應用”通過科技部組織的專家驗收。

　　6英寸SOI MEMS標準工藝和封裝技術用于MEMS陀螺儀、加速度計、振動傳感器、碰撞傳感器、MEMS光開關、VOA及壓力傳感器等高性能MEMS器件的批量加工，美泰科技6英寸產線、廈門西人馬（IDM）

　　西人馬（FATRI）是一家芯片IDM公司，旗下西人馬聯合測控（泉州）科技有限公司（FATRI UTC）成立于2017年，是西人馬MEMS高端傳感器和芯片制造基地，占地70畝，建筑面積20000㎡，具有6000㎡的超凈車間和先進微納米研究實驗室，配備8英寸向下兼容6英寸的MEMS智能傳感器芯片產線和中國先進的MEMS器件加工平臺。

　　西人馬19年11月獲得朗潤基金數千萬A輪融資，20年一季度獲得A+輪的1億元人民幣融資，今年3月獲B輪融資，發展迅速，西人馬已經成為國內MEMS領域IDM芯片公司的鰲頭，紅外和壓力傳感器每日產量可以達到幾十萬顆。

　　奧松電子成立于2003年，專注于MEMS半導體工藝技術，是國內率先應用MEMS半導體工藝技術生產傳感器芯片的高新技術企業，也是廣東省MEMS領域集研發、設計、制造、封裝測試、終端應用為一體的MEMS智能傳感器全產業鏈（簡稱IDM）企業。

　　2019年奧松電子斥巨資打造MEMS半導體芯片生產線，一期工程凈化車間總面積約2500平方米，配置濕法清洗區、百級潔凈度光刻區、千級潔凈度鍍膜區、千級潔凈度刻蝕區、千級潔凈度離子注入區及參觀通道等。

　　2020年9月，廣州奧松電子有限公司6英寸MEMS半導體傳感器芯片生產線正式投入運營，成功量產出溫濕度、流量、氣體、差壓、風速等傳感器芯片。

　　奧松電子MEMS半導體生產線納米MEMS半導體工藝制程，生產設備約占整個投資規模的70%。根據規劃，2021年二期工程將建成350納米制程工藝MEMS半導體生產線納米制程工藝MEMS半導體生產線；總項目全部建成投產后，每月流片規模將達到4萬片，2021年8月，奧松電子官網宣布對外開放MEMS芯片代工業務，包括設備共享、技術支持、企業孵化等服務。

　　2021年4月奧松電子控股的全資子公司——奧松半導體（珠海）有限公司，將在珠海高新技術產業開發區建設8英寸先進MEMS特色半導體IDM產業基地項目。該項目建成后，將成為國內先進的MEMS芯片及智能傳感器產業集群，提高MEMS芯片的代工和量產能力。

　　諾思微系統位于天津，是一家無線設備射頻前端MEMS濾波芯片服務商，其產品主要采用薄膜體聲波諧振器(FBAR)技術以及硅襯底的微機電系統(MEMS)制造技術，同時為無線射頻濾波器、雙工器、和多工器等提供解決方案。

　　諾思微已投產一條6英寸MEMS晶圓生產線英寸工藝研發線。廠房和研發中心總占地面積2.7萬平方米。

　　2021年3月，國家重點研發計劃“制造基礎技術與關鍵部件”重點專項項目“硅基MEMS壓電薄膜及器件關鍵技術與平臺”的項目在諾思微系統啟動，針對5G/6G無線通訊、物聯網等對射頻濾波器、智能傳感器提出新的技術要求，對實現晶圓級硅基MEMS壓電器件的大規模生產、擺脫我國目前關鍵MEMS壓電器件受制于人的局面，有重要意義。

　　2021年8月完成4億元融資，預計在一年內全面加速產能釋放，達年產20億顆濾波器芯片的產能規模。13、科技（IDM&代工）

　　成立于2010年，總部在江蘇張家港，建設有完整的磁傳感技術——隧道磁電阻（TMR）的磁應芯片產線。

　　科技的磁傳感器晶圓代工廠擁有6英寸和8英寸MEMS晶圓產線，提供完整的磁傳感器（AMR / GMR / TMR）開發及晶圓制造服務（包括設計、制造和測試），年產10億個TMR磁傳感器。

　　2021年5月科技獲4億元融資，將用于對現有產線進行升級，能夠進一步強化“自研、自產、技術領先”的核心競爭力。

　　14、湖南啟泰傳感科技（IDM）2006年成立，總部在湖南瀏陽。啟泰傳感以王國秋教授為首的科研團隊攻克了異質膜關鍵工藝與技術，建設國內第一條金屬基薄膜力敏芯片——MEMS壓敏傳感芯片生產線，是世界上少數幾家具有金屬濺射薄膜壓敏芯片規?；a能力的公司之一。

　　2019年8月該生產線實現批量生產，年產壓敏傳感芯片50萬顆，至2021年一期工程順利完工投產，用地面積35畝，建設總用地面積2萬多平米，傳感器芯片年生產能力可達600萬顆，傳感器封裝200萬支，年產值可達10億元。

　　二期項目正在進行，預計完工后，傳感器芯片產能將達2000萬顆，傳感器封裝1000萬支，年產值可達50億元。

　　高德紅外創立于1999年，總部位于武漢，擁有8 英寸 0.25um 批產型 MEMS 生產線，是目前國內唯一一條自主可控且具備批產能力的非制冷紅外焦平面探測器生產線 從低到高各類面陣規格產品型號批產能力。

　　武漢衍熙微器件擁有全國第一條8寸體聲波（BAW）量產線，具有先進的光刻、薄膜、蝕刻以及封裝設備，并建立創新自主開發的產品生產流程。該產線主要產品有MEMS濾波器、雙工器等。2018年，武漢衍熙微器件進行項目擴建，一期為租賃現有廠房5600平方米，建設3600平方米的無塵室車間；二期計劃建設約10000平方米的無塵室車間，用于擴大生產。

　　杭州士蘭微1997年成立，是國內規模最大的集成電路芯片設計與制造一體（IDM）的企業之一。自2010年開始，士蘭微電子投入大量資金，通過對加速度傳感器、地磁傳感器、壓力傳感器等一系列傳感器產品的開發，在6吋、8吋芯片生產線上實現了批量制造能力，并建立自己的MEMS封測生產線，初步走通了系列傳感器的IDM發展之路，已申請相關發明專利百余項。目前士蘭微MEMS傳感器產品系列豐富，有：MEMS加速度計、三軸AMR磁傳感器、六軸慣性傳感器、高性能MEMS麥克風、數字三合一傳感器、心率傳感器、高性能氣壓壓力傳感器等。

　　2021年7月30日，士蘭微發出資產重組公告，引入國家集成電路產業投資基金股份有限公司，募集11億元。

　　蘇州固锝成立于1990年，是國內二極管龍頭企業，旗下子公司明銳光電、明皜傳感、艾特曼電子等涉足MEMS傳感器IDM業務。

　　2010年固锝收購明銳光電，明銳光電主要從事MEMS-CMOS三維集成制造平臺技術及八寸晶圓級封裝技術及產線年成立明皜傳感，從事微機電傳感器芯片和器件的工藝開發、設計。2021年8月，明皜傳感獲小米投資，注冊資本由 6443.64 萬元人民幣增加至 7085.19 萬元人民幣，增幅為 9.96%。

　　2012年成立艾特曼電子，主要從事晶圓級MEMS器件封裝工藝及相關核心技術的開發并提供代工服務，服務領域涵蓋消費類電子產品、汽車電子、工業控制、家電領域慣性傳感器（加速度計、陀螺儀）以及紅外傳感器等。

　　2021年6月，蘇州固锝與華景傳感合資成立華锝半導體，愿景是將華景傳感的MEMS麥克風芯片設計技術與蘇州固锝的封測技術及生產經驗相結合，逐步實現MEMS麥克風在高端領域的進口替代。

　　同月，華锝MEMS聲學傳感器及射頻濾波器封測項目落戶蘇州。項目一期產線將建立符合華為體系標準的MEMS聲學傳感器的封測基地，主要客戶有小米、科大訊飛等；二期將引入國內首創MEMS麥克風及射頻濾波器的WLP晶圓級封裝產線，該晶圓級封裝為芯片流片工藝最后一道關鍵工藝，華锝將擁有自主晶圓級封裝相關自主技術知識產權。19、蘇州納米城（中試線）

　　蘇州納米城6英寸MEMS中試線由蘇州納米科技發展有限公司（蘇州工業園區政府出資）建設，是江蘇省“十二五”重大科技平臺項目。

　　蘇州6英寸微納機電制造（MEMS）中試線采用市場化、全開放的運作模式，主要開展MEMS產品工藝研發、MEMS加工、部分封裝測試、專利運營、設備租賃、超凈場地租賃、工藝技術培訓等十多項專業服務，目前已成功導入壓力傳感器、微鏡傳感器、微流體傳感器等產品

　　是國內首條硅基4/6英寸兼容MEMS中試代工平臺，超凈規模國內一流；配備了國際一流設備的中試代工線，中試生產能力可達月產傳感器十萬只，產品的測試環境也居國內先進水平。21、中科院微電子所（中試線年由中科院微電子所設立的MEMS研發平臺，其8英寸MEMS中試線%；針對三軸重力加速度計、基于氧化釩的紅外圖像傳感器、醫用CT中X-ray探測、基于薄膜體聲波濾波器（FBAR）、MEMS紅外探測器等產品。

　　22、上海微技術工研院（中試線年，上海微技術工業研究院（以下簡稱“工研院”）構建的國內首條，全球領先，兼容CMOS的8英寸研發中試線正式投入運營，月產量將達到3000件。

　　該產線部署了MEMS、硅光子、RF、硅基III-V族、3D集成、MR磁傳感開云電競官方網站、功率及生物等相關工藝和量測設備。作為國內第一條先進8英寸研發中試線英寸研發中試線不僅可承擔產品研發、小批量生產、技術培訓、設備驗證等服務，有助于提升研發的成功率。

　　今年6月，上海微技術工研院宣布將8英寸線每年四分之一的總機時資助給上海大學，用于微電子學院教學實踐，為期5年。23、中科院上海微系統所（研發平臺）

　　中國科學院上海微系統所現有的MEMS技術平臺由微系統加工平臺和微系統封裝平臺兩部分組成，分別位于上海微系統所漕河涇園區內主樓的一層和二層凈化間內。

　　整個平臺擁有100多臺套先進的大中型設備，總價值達1.1億元，可以完成從微芯片制造、芯片封裝、器件測試、微系統集成等成套工藝，為微系統研究提供有力的技術保障。來源：今日半導體